全自动老化摆盘机(晶圆)
主要用于IC来料为管装、Tray、振动盘自动摆盘
产品详情

X,Z轴机械手,旋转双吸嘴代替手工单个IC进行取放,减少人力和异常率。

可对接MES,从MES中获取老化信息。 可自定义来料方式,选取供料方式。

可旋转90/180度IC方向,解决了不同批次来料可能存在点的方向不同。

老化板双流道供料提升CT。

摆盘时自动区分OK/NG的IC,并放到已设置好的对应位置坐标。

产品规格
操作系統 PLC&WIN腔制
操作界面 人机屏&HIMI
控制模式 总线控制
运动精度 ±0.1 mm
UPH 1200片/小时
传输速度 0~0.5M/sec
定位精度 ±0.05mm
传送高度
外观尺寸 2400*1800*1850mm
总重量 1200KG
输入电源 AC 220V
气压 0.4-0.8MPa